垂直固化炉运行时噪音大，怎么解决？

发布日期:2026-08-24 点击次数:0

噪音大通常来自三点：一是冷却风扇积灰，导致转动异响，需清洁风扇叶片；二是真空泵噪音，若超 75dB，需检查泵体轴承，磨损则更换轴承，或加装隔音罩；三是炉门密封不严，运行时气流噪音，需调整炉门松紧度或更换密封圈。解决后设备运行噪音应≤65dB，符合车间噪音标准。广东华芯半导体技术有限公司的垂直固化炉，采用低噪音风扇与真空泵，噪音控制更优。

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